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產品名稱：Pura Plus在線微量濕度異動變送器
產品型號：Pura Plus
產品廠商：英國Michell露點傳感器
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簡單介紹：

Pura Plus在線微量濕度異動變送器是密析爾儀表針對晶圓工業對于設備尺寸和指標的*新需求變化而特殊設計的。Pura Plus在線微量濕度異動變送器是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應*末端，用來監測超純惰性氣體的應用。工廠內氣體系統分布復雜，涉及到很多分支、節點和使用點。

詳情介紹：

Pura Plus在線微量濕度異動變送器

Pura Plus在線微量濕度異動變送器技術指標

響應速度	<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應時間
濕度量程	1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍	0 to 10 bar
耐壓等級	300 bar
泄漏測試	0-9 mbar l/s
工作流量范圍	1 ~ 10 l/min
工作溫度	5 ~ 40°C
存儲溫度	30 ~ 70°C
電源	20 ~ 28 V DC
功耗	5 W *大
外部保險絲等級	500 mA 快熔型
數據輸出	Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報警輸出	2 路
*大電壓	40 V DC
*大電流	100 mA
氣體接觸的材質
外殼材質	不銹鋼 AISI 316L, 內表面電拋光 <10 Ra
傳感器結構	氧化鋁電解質, 上層鍍金保護, 下層鋁層
內部容積	4.4cm3
重量	450g
氣路接口	1/4" m VCR
電氣接口	9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性	EN50081-2 和 EN50082-2

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產品名稱：Pura Plus在線微量濕度異動變送器

Pura Plus在線微量濕度異動變送器技術指標